Все статьи автора:
РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ФОРМИРОВАНИЯ ЗНАКОВ СОВМЕЩЕНИЯ В КРЕМНИИ ДЛЯ ПРОЕКЦИОННОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ
Опубликовано: 27.03.2026
Опубликовано в выпуске:
1(2026)(ID:273662) (56)
Полезные ресурсы
eLIBRARY.RU Наше издание в Научной Электронной Библиотеке eLIBRARY.RU
Публикационная активность журнала РИНЦ
Справочник по УДК Ресурс описывает универсальную десятичную классификацию (УДК)
Антиплагиат Система автоматической проверки текстов на наличие заимствований
МГТУ имени Н. Э. Баумана официальный сайт университета