ОПРЕДЕЛЕНИЕ ТОЛЩИНЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ
Опубликовано в выпуске:
2/2019 (24)
, 15.06.2019
В данной работе проводится исследование тонких пленок алюминия, нанесенных на кремневую подложку или сформированную на ней термическую пленку диоксида кремния, методом атомно-силовой микроскопии с целью определения их толщины. Описаны физические основы и основные режимы работы атомно-силовой микроскопии. Приведены методики измерений и анализа полученных результатов.
eLIBRARY.RU Наше издание в Научной Электронной Библиотеке eLIBRARY.RU
Публикационная активность журнала РИНЦ
Справочник по УДК Ресурс описывает универсальную десятичную классификацию (УДК)
Антиплагиат Система автоматической проверки текстов на наличие заимствований
МГТУ имени Н. Э. Баумана официальный сайт университета