КОРРЕКТИРОВКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ РЕЖИМОВ ПОЛУЧЕНИЯ ПОДЗАТВОРНОГО ДИЭЛЕКТРИКА КМДП-ИС
Опубликовано: 16.07.2016
Опубликовано в выпуске:
2/2016 (6)
В данной статье проведено исследование режимов технологических операций формирования подзатворного диэлектрика серийно выпускаемых КМДП-ИС, направленное на снижение плотности дефектов изоляции и повышения средней величины заряда, инжектированного в подзатворный диэлектрик до его пробоя. На основе полученных экспериментальных данных и проведенного моделирования определены параметры технологической операции высокотемпературного отжига, позволяющие минимизировать дефектность подзатворного диэлектрика.
eLIBRARY.RU Наше издание в Научной Электронной Библиотеке eLIBRARY.RU
Публикационная активность журнала РИНЦ
Справочник по УДК Ресурс описывает универсальную десятичную классификацию (УДК)
Антиплагиат Система автоматической проверки текстов на наличие заимствований
МГТУ имени Н. Э. Баумана официальный сайт университета