Электронный журнал: наука, техника и образование
Личный кабинет
Открыть меню
Новости
Выпуски
Рубрики
Машиностроение
Информационные технологии
Приборостроение и электроника
Экономика промышленности
Естественные науки
Гуманитарные науки
Физика конденсированного состояния. Микро- и наноэлектроника
Инженерное образование
Экология и безопасность
Фундаментальные и прикладные исследования проблем создания перспективных систем связи и управления
Теория и технологии создания аппаратуры систем связи и управления
Новые технологии в разработке продукции и диверсификация производства
НЕПЕРИОДИЧЕСКИЕ ИЗДАНИЯ
Наши авторы
Для авторов
О журнале
Редколлегия
Наши авторы
Главная
Наши авторы
Вовченко Ольга Николаевна
Вовченко Ольга Николаевна
студент
Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана
luckyfox13@mail.ru
Все статьи автора:
ИССЛЕДОВАНИЕ И ОПТИМИЗАЦИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО МДП-КОНДЕНСАТОРА НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК ДИОКСИДА И НИТРИДА КРЕМНИЯ ДЛЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ
Авторы:
Андреев Владимир Викторович
,
Вовченко Ольга Николаевна
,
Столяров Александр Алексеевич
Опубликовано в выпуске:
СВ1/2019 (25)
, 15.07.2019
Рубрика:
Физика конденсированного состояния. Микро- и наноэлектроника
напряжение пробоя
,
нитрид кремния
,
диоксид кремния
,
тонкопленочный МДП-конденсатор
,
интегральная микросхема
Добавить статью
Искать
Новости
Готовится к выпуску 3-й выпуск номера журнала 2025 года
14 ноября, 2025
Вышел 2-й выпуск номера журнала 2025 года
Вышел 2-й номер 2025 года научно-практического сетевого издания "Электронный журнал: наука, техника и образование"
30 июня, 2025
Ключевые слова
штамповка в закрытых штампах
оценка максимального правдоподобия
коэффициенты преобразования
данные с пропусками
методы
анализ
механизмы
обработка
исследования
структуры
Полезные ресурсы
Полезные ресурсы
eLIBRARY.RU
Наше издание в Научной Электронной Библиотеке eLIBRARY.RU
Публикационная активность журнала
РИНЦ
Справочник по УДК
Ресурс описывает универсальную десятичную классификацию (УДК)
Антиплагиат
Система автоматической проверки текстов на наличие заимствований
МГТУ имени Н. Э. Баумана
официальный сайт университета